فیلتراسیون فضاهای تمیز

سالهاست که صنعت میکرو الکترونیک تکنولوژی اتاق تمیز را هدایت کرده است. فراخوانی برای ارتقاء کارآیی فیلتراسیون فضای تمیز از این صنعت و صنایع وابسته صورت پذیرفت. فیلتر اولپا (فوق العاده با نفوذ کم هوا) با کارایی 99.9995٪ در ذرات 0.12 میکرون به طور مؤثر در سطوح مختلف اتاق های تمیز استفاده شده است. فیلترهایی با کارآیی بالاتر در دسترس هستند، اما هزینه های بالایی دارند و استفاده گسترده ای از آنها به عمل نیامده است. کارایی از قبیل 99.99٪ و 99.999٪ از تعدادی کارخانه های تولید کننده در دسترس است و اثبات شده که در کاربریهای فضاهای تمیز، خیلی موثر است. فیلترهای هپا (فیلتر ذرات هوا با کارایی بالا) که در بازدهی 99.97٪ در ذرات 0.3 میکرون برای سال های بسیاری است که در صنعت اتاق تمیز رواج پیدا کرده و مورد استفاده می شود. آنها هنوز هم در صنایع دارویی به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرند و حتی نیازهای صنعت مواد غذایی را نیز برآورده می سازند.

نمونه هایی از فیلتر هپا

در تست این فیلترها از تجهیزات خاصی استفاده می شود، تا ذرات کوچکتر را با دقت بیشتر شمرده شود، نتایج تستها نشان می دهد که هر دو فیلتر هپا و اولپا ذرات بیشتری را در محدوده 0.1 تا 0.2 میکرون را نصبت به سایر اندازه های ذرات عبور می دهند. در واقع، فیلترها، کارایی خود را در هر دو اندازه ذرات 0.12 و 0.3 میکرون نشان می دهند و کارایی بالاتری نسبت به ذرات بزرگتر و کوچکتر دارند. برای فضاهایی با سطح بالا، شایع است که کارایی فیلتر براساس اندازه ذرات نفوذ کننده (MPPS) مشخص شود، نه اندازه خاصی از 0.12 یا 0.3 میکرون. MPPS ممکن است کمی بین مقدار فیلتر متفاوت باشد. مشخص کردن کارایی مورد نظر در اندازه ذرات "بدترین حالت"، برای برخی از طراحان و تولید کنندگان فیلترها راضی کننده است. بیشتر فضاهای تمیز سطح بالا و متوسط ​​با فیلترهای نصب شده در سقف ساخته شده اند. فیلترها را می توان در گروه هایی که در یک سیستم پلیمری تحت فشار مدولار قرار دارند نصب کرده که استقرار آن را در سقف اتاق تمیز آسان می کند. آنها همچنین می توانند در محفظه های تک فیلتر نصب شده، به صورت مجزا کانال کشی شده که بوسیله ساپورت به شکل "T" معکوس (T گرید) نصب می شود و برای جلوگیری از وارد شدن ذرات به اتاق تمیز، درزهای آنرا آببندی می کنند. هنوز هم از پلنیومهای هوا (محفظه هوا) استفاده می شود. با این حال، طرح های مختلف مدولار در حال حاضر در دسترس هستند. ولی هر دو طرح در کنترل بهتر سرعت هوا و کنترل هوای محیط بکار می روند. فیلتراسیون یکپارچه و واحد دمنده یا فن-فیلتر باکس به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد. در برخی از فضاها، فیلتر قابل تعویض است و در برخی از مکانها، کل ماژول در انتهای عمر کاری خود رها شده یا جابجا می گردد. آنها در اندازه های مختلف طراحی شده اند تا به ساپورت "T" معکوس شکل، متصل شوند. برخی از سیستم های پیشرفته کنترل شده برای نظارت بر عملکرد تک تک فیلتر هوای، ثبت میزان مصرف انرژی، کنترل فن-فیلتر باکس ها و تغییر سرعت فن برای زمان های مختلف عملیات روزانه طراحی شده اند. آنها در تمام کلاس های اتاق تمیز کاربرد پیدا کرده اند.

سرعت سطحی فیلترهای نصب شده در سقف به طور کلی می تواند تا ) 130 fpm (0.25 m / ~0.66 m / s 50 ~ بسته به طراحی سیستم باشد. شبکه ساپورت "T" ممکن است تا 20٪ از منطقه سقف را اشغال کند، طراحی سرعت سطحی فیلتر ) 100 fpm (0.51 m/s تا متوسط ​​سرعت ) 80 fpm (0.41 m / s در سطح کار در داخل تمیز اتاق تغییر می کند. هدف از نصب فیلترهای هپا و اولپا به طور مستقیم در سقف اتاق تمیز، تمایل به حداقل رساندن، اگر نه حذف کامل ذرات از سطوح جمع آوری شده، مانند داخل درز کانالها، از بین پایین دست محفظه فیلتر و اتاق تمیز، است.

رصد و مونیتورینگ فیلترهای هپا در کلاس مختلف فضاهای تمیز، در جاهایی که امکان پخش ذرات توسط سیستم کانال کشی در پائین دست، نسبت به میزان قابل تحمل فیلتر باشند، رواج دارد. یک استثنا میتواند جایی باشد که یک سیستم تهویه مطبوع استاندارد، را برای فضای تمیز طبقه بندی نشده را جهت ارتقاء یک اتاق تمیز طبق استاندارد فدرال 209 یا استاندارد ایزو 14644 در نظر گرفته شود. در این صورت، تمام مجرای پایین دست فیلتر باید کاملا تمیز شود.

فیلترهای هپای مورد استفاده در این برنامه ها به طور کلی فیلترهای با سرعت بالا هستند، سرعت سطحی-فیلتر ) 500 fpm (2.54 m / s با افت فشار قابل توجهی بالاتر از آنهایی که در سقف نصب شده اند، است. یک فیلتر هپای سرعت بالا با ابعاد 2 فوت × 2 فوت (600 میلیمتر × 600 میلیمتر) می تواند 1.5 in.w.g (375 Pa) افت فشار در (  500 fpm (2.54 m / sکه در سقف معمولی نصب شده است، داشته باشد. فیلتر تمیز به منظور  افت فشار 0.5 in.w.g (125 Pa) در سرعت سطحی ) 100  fpm (0.51 m / s طراحی شده است.